半導(dǎo)體制程升級和器件結(jié)構(gòu)復(fù)雜化推動半導(dǎo)體設(shè)備市場不斷發(fā)展:隨著半導(dǎo)體制程向5nm、3nm以及更先進的工藝發(fā)展,半導(dǎo)體的制造工序日趨復(fù)雜,20nm工藝所需工序約為1000道,而7nm工藝所需工序已超過1400道,這意味著需要更多刻蝕、薄膜沉積以及配套的光刻、清洗等半導(dǎo)體設(shè)備參與半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)。同時,半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)也趨于高度復(fù)雜化,例如NAND閃存已進入3D時代,疊堆層數(shù)也逐步向128層發(fā)展,每層均需要經(jīng)過光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝步驟,催生出更多相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用需求。此外,3D結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件往往需要很小的通孔連接幾十至一百余層硅,因此對深寬比、選擇性等半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)指標(biāo)提出了更高的要求,從而為半導(dǎo)體設(shè)備帶來了新的附加值。
全球特別是中國半導(dǎo)體制造規(guī)模的不斷擴張,顯著提升了相關(guān)設(shè)備市場需求:當(dāng)前,國內(nèi)晶圓建廠潮愈演愈烈,半導(dǎo)體制造產(chǎn)線規(guī)模加速擴張。在2017——2020年間,全球?qū)⒂?2座新建晶圓廠投入營運,其中我國大陸地區(qū)新建晶圓廠26座,占比達(dá)42%。未來,我國在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)有望繼續(xù)保持高強度投入,有望帶動半導(dǎo)體制造產(chǎn)能持續(xù)提升,2022年,我國大陸地區(qū)的半導(dǎo)體制造產(chǎn)能有望超過韓國,躍升為全球第二,僅次于我國臺灣地區(qū),屆時大陸地區(qū)的半導(dǎo)體制造產(chǎn)能將達(dá)410萬片/月,在全球半導(dǎo)體制造產(chǎn)能的占比達(dá)17.15%,2019-2022年我國大陸地區(qū)半導(dǎo)體制造產(chǎn)能的CAGR為14.81%,顯著高于同期全球半導(dǎo)體制造產(chǎn)能的增長(CAGR=7.01%)。隨著下游半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的陸續(xù)投產(chǎn),配套的半導(dǎo)體設(shè)備市場需求有望同步提升。
半導(dǎo)體設(shè)備市場整體呈現(xiàn)穩(wěn)步增長,刻蝕和薄膜沉積設(shè)備重要性和價值日益提升:受到半導(dǎo)體工藝制程的升級、半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化以及下游晶圓制造產(chǎn)能擴張的推動,半導(dǎo)體設(shè)備市場有望保持穩(wěn)步增長。晶圓制造設(shè)備市場在半導(dǎo)體設(shè)備市場的占比約81%,其中刻蝕、光刻和薄膜沉積設(shè)備是半導(dǎo)體前道生產(chǎn)工藝中最重要的三類設(shè)備,分別占晶圓制造設(shè)備價值量約24%、23%和18%的比重。同時,刻蝕和薄膜沉積在半導(dǎo)體制程升級過程中的加工步驟顯著增多,隨著半導(dǎo)體制程升級的推進,刻蝕和薄膜沉積設(shè)備正成為更關(guān)鍵且投資占比較高的設(shè)備。
半導(dǎo)體設(shè)備市場集中度較高,國產(chǎn)替代空間廣闊:目前,全球半導(dǎo)體設(shè)備市場目前主要由國外廠商主導(dǎo),行業(yè)呈現(xiàn)高度壟斷的競爭格局。2018年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場中,應(yīng)用材料、阿斯麥、東京電子、泛林半導(dǎo)體、科天半導(dǎo)體的市占率分別為17.27%、14.74%、13.45%、13.40%、5.19%。
目前我國半導(dǎo)體設(shè)備市場的自給率較低,2018年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額約為109億元,自給率約為13%,國產(chǎn)替代的空間廣闊。
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